半导体集成电路可靠性设计及其测验方法
半导体集成电路可靠性设计及其测验方法
摘要：半导体集成电路在当前社会发展和工业生产中占据重要地位，能够给生产生活提供
极大便利条件。本文主要从可靠性测试在半导体集成电路中的重要性分析入手，重点阐明可靠
性设计技术的内容，并提出了一些科学可行的可靠性测试和和数据处理方法，为切实保证半导
体集成电路的质量和应用性能，提供一定借鉴和参考。
关键词： 半导体； 集成电路； 可靠性测试； 数据处理；
0 前言
可靠性是当前衡量产品质量的一个重要因素，属于产品使用年限分析的一门全新学科。现阶段
工艺技术手段不断提升，使用材料也越来越新型化，半导体集成电路线宽有所降低，应用效果
显著上升。国内近些年来集成电路制造产业取得良好发展成果，能够良好支持半导体集成电路
可靠性研究活动。
1 可靠性测试在半导体集成电路中的重要性
国内制造行业取得良好发展成果，半导体集成电路制造技术也迅猛发展，超大规模集成电路体
积明显缩减，以硅基单片数字作为标志，实际制造工艺和电路结构也呈现出越来越繁杂的特点
[1].为充分发挥半导体集成电路的优势和作用，需要在制造环节确保其总体质量，不容忽视的
是，半导体集成电路制造活动进行中，工艺误差等因素给可靠性带来的影响也有所加重。在分
析产品使用年限，衡量产品实际应用质量方面，可靠性是一个重要指标。想要充分保证半导体
集成电路工艺的可靠性，合理控制好产品可靠性评价所耗费的成本，当前很多半导体集成电路
厂商积极使用晶圆级可靠性测试工作，从而准确检测出半导体集成电路的实际质量和应用性
能，便于及时发现其中存在着的问题并加要良好改进和优化，进而极大程度上提升半导体集成
电路的生产和运用效果。
2 半导体集成电路可靠性设计技术
半导体集成电路朝着高速度、高精度、低耗能的方向发展，集成度越来越高，在工艺特征尺寸
方面也逐渐减小，器件二维效应增强，促进电流和电场密度有所增加。为增强半导体集成电路
可靠性，需要在设计阶段就采用一系列科学举措加以控制，重点研究环境引起的退化诱发应力
和集成电路器件失效情况，综合考量到线路、版图、工艺以及封装等要素，良好维持电参数处
在正常状态中[2].开展可靠性评价和控制工作，需要注重研究和监测好半导体集成电路的实际
制造环节。半导体是各类电子设备中的基本组成元器件，生产和设计环节都会影响到产品可靠
性的预测和评估效果。在半导体集成电路可靠性评价中，积极使用可靠性评价的方法，利用相
应模拟仿真软件、数据统计工具针对半导体器件的失效率、可靠性质量等级、使用寿命周期等
方面加以评定。选择高度可靠的模拟集成电路产品，从半导体集成电路的实际特点出发，研究
其常用的技术手段。以典型军用产品为例加以分析，可以使用时间序列分析方法、人工神经网
络预测方法、灰色理论预测方法以及回归分析预测方法等手段，将能够判断相关产品的可靠性
及其和军用集成电路适用性。
3 半导体集成电路可靠性测试和数据处理方法
3.1 热载流子注入测试
针对半导体集成电路开展晶圆级可靠性测试活动的过程中，热载流子注入测试是一项重要内
容，从实际能量和费米能级加以比较，热载流子数量巨大。在遗漏的源电压条件下，中集成电
路器件载流子会达到漏电的极限，这主要是因为漏电周围有电场强度区域，且这些区域电场强
度较高，当载流子进入区域之中，具有高能的能量子将会发生转变，成为热载流子。在这种背
景下，电子的相互碰撞会促使热载流子形成新的电子空穴对，电离程度更高。在热载流子数量
不断增多的过程中，能量也有所增加。实施热载流子测试活动，多是这长时间电应力测试集成
电路，并从中间读点测量好不同电性参数的具体数值情况。
摘要：
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半导体集成电路可靠性设计及其测验方法 摘要：半导体集成电路在当前社会发展和工业生产中占据重要地位，能够给生产生活提供极大便利条件。本文主要从可靠性测试在半导体集成电路中的重要性分析入手，重点阐明可靠性设计技术的内容，并提出了一些科学可行的可靠性测试和和数据处理方法，为切实保证半导体集成电路的质量和应用性能，提供一定借鉴和参考。 关键词：半导体；集成电路；可靠性测试；数据处理； 0 前言可靠性是当前衡量产品质量的一个重要因素，属于产品使用年限分析的一门全新学科。现阶段工艺技术手段不断提升，使用材料也越来越新型化，半导体集成电路线宽有所降低，应用效果显著上升。国内近些年来集成电路制造产业取得...
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